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楼主: 叶落

[求助] MOS管上的gate可以打孔么?

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发表于 2025-5-26 10:33:43 | 显示全部楼层


kevin_l 发表于 2017-5-26 08:58
首先解释一下一个误区,一般的工艺TSMC,SMIC,CSMC等等是不允许在active区域和poly交叠区域打polyCT孔的, ...


你好,请问你用的是什么工艺呀?具体是什么结构会这样呢?我现在反向看别人的就存在AA和GT叠在一起,上面还有CT孔
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