[求助] 关于金属蒸发Particle问题求助

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夏目家的喵

发表于 2017-4-26 09:23:15 | 显示全部楼层 |阅读模式

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最近在做Au蒸发时，沉积有金的Dummy wafer在进行显微镜检查时，在暗场下会发现大量亮点。请问各位有遇到这种情况的吗？根源是什么？如何解决的，大家交流一下。[attachimg]690222[/attachim metal1-AU-30-190-30-POWER13-ADDAUSLUG-SITE1小.jpg

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