小于100n的工艺，non-silicide poly电阻比较小？

istart_2002 · 发表于 2017-2-24 16:34:31

本帖最后由 istart_2002 于 2017-2-25 17:04 编辑

小于100n的工艺，non-silicide poly电阻比较小，最大的poly电阻只有600多ohm？W能设为0.5um么？
微信截图_20170224164416.png

kwankwaner · 发表于 2017-2-25 14:22:46

以前的poly都差不多，先进工艺中的poly不一定是以前的材料了，不过这值不小了，在正常范围内

istart_2002 · 发表于 2017-2-25 17:03:49

以前的poly都差不多，先进工艺中的poly不一定是以前的材料了，不过这值不小了，在正常范围内
kwankwaner 发表于 2017-2-25 14:22

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一般最小的W是多少？可以做成0.5um么？

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