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[求助] SMIC 130 si-sub厚度

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发表于 2016-4-27 11:30:35 | 显示全部楼层 |阅读模式

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要做个ADS用的衬底,但SMIC 130 PDK 里的文档里只有各个介质层的厚度及参数,但各个介质层应该是放在si-sub之上的吧? 所以在FOX下边应该还有一层sub才对,所以SMIC 130 sub厚度应该是多少???
sub.png
发表于 2016-4-28 15:09:49 | 显示全部楼层
一般是300um。不过是可以变的,如果需要的话可以做chip thinning。
发表于 2016-4-28 19:15:50 | 显示全部楼层
300um这个是加工后减到的数
发表于 2017-3-21 11:20:01 | 显示全部楼层
过来学习一下
发表于 2019-6-17 14:51:32 | 显示全部楼层
这个哪里能查到呢
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