版图求解

hutiao · 发表于 2016-3-16 10:56:23

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请问Pre-OPC与Post-OPC是什么？谢谢！

xxmule · 发表于 2016-3-16 13:20:03

前光学校正，后光学校正

回复 1# hutiao

hutiao · 发表于 2016-3-17 16:03:05

回复 2# xxmule

那工艺中的OPC layer是不是就是用来校正图形的？

xxmule · 发表于 2016-3-17 16:44:25

查看工艺文档中的解释说明

回复 3# hutiao

hutiao · 发表于 2016-3-18 10:31:50

回复 4# xxmule

工艺文件中没有这一层的定义，只是在dummy层解释中有“without OPC"与”with OPC"的字眼。

xxmule · 发表于 2016-3-18 11:09:23

那就问工艺厂最好了，问问用在什么场合，注意些什么了

回复 5# hutiao

hutiao · 发表于 2016-3-18 11:13:46

回复 6# xxmule

好吧，谢谢

戴上面具做人 · 发表于 2016-3-28 10:41:22

学习了

tiamo1222 · 发表于 2016-3-30 10:24:46

pre-opc是指实际版图中画出来的图形，post-opc是指foundry会在拿到你的layout之后进行的光学修正。
所谓的opc layer一般有od，poly，cont，metal，via等，因为这些层次的CD一般比较小。
做opc是因为实际曝光的时候所用光源波长和版图中相关层次CD想接近，产生一系列的干涉或衍射效应，使得最终曝光图形和所画图形不一致，因此需要进行光学邻近效应修正。
dummy层次一般和drawning层次区分开，dummy一般不做opc处理，因为不care精确尺寸，同时dummy的数据过大，如果修opc会导致opc处理速度大大降低。opc过程实际上是对不同图形<疏密>所作的一种算法处理，过程相当复杂。
还有一种opcblk层，是放在不需要做opc处理的地方，一般对于已经修好opc的sram或者其他不想做opc处理的地方可能会覆盖这层。
个人拙见，如有不多还请指正。

大江南北 · 发表于 2016-3-30 10:28:22

回复 9# tiamo1222

楼上高见

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