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本帖最后由 fan309550595 于 2016-1-6 21:41 编辑
最近在工作中遇到一个问题,poly1和poly2(pip)之间的电容(poly2位于poly1的下方),xRC时会提取出一个较大的寄生电容(约有20%),该寄生电容来自于poly1对衬底的本征电容.我猜测是由于xRC模型建立时没有定义poly2层,导致poly2对poly1的本征电容没有屏蔽作用,所以想把poly2的加到xcalibrate的模型中去,望大神指点该怎么建立?2014版的xcalibrate。ps:我想如果lpe文件中加上了poly2,那么poly2对衬底也应该有本征电容,结果还是会有一个较大寄生???希望大神告诉一下poly层的本征电容(intrinsic)真的有这么大吗? |
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