求助Silvaco TCAD进行光刻仿真时定义照明源illum.filter的一个使用问题

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yyt1

发表于 2015-12-19 13:44:35 | 显示全部楼层 |阅读模式

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定义光刻光源时，需要对illum.filter的参数进行定义，其中有一个参数sigma，看了英文帮助文档不是很明白，但是仿真中对其稍作调整，结果影响还挺大的。这个参数具体是设置什么的？

英文帮助文档中的原文：
SIGMA defines or changes the filling factor for the combination of the illumination and projection systems.

请大虾帮忙指点一二！非常感谢

factor, sigma, sigma, 英文, 影响

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