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定义光刻光源时,需要对illum.filter的参数进行定义,其中有一个参数sigma,看了英文帮助文档不是很明白,但是仿真中对其稍作调整,结果影响还挺大的。这个参数具体是设置什么的?
英文帮助文档中的原文:
SIGMA defines or changes the filling factor for the combination of the illumination and projection systems.
请大虾帮忙指点一二!非常感谢 |
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