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楼主: 追风的孩子

[求助] ESD触发电压太大会不会引起ESD失效?

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发表于 2020-6-19 14:43:57 | 显示全部楼层
good mark
发表于 2020-8-17 16:43:29 | 显示全部楼层
学习了
发表于 2020-8-18 09:26:22 | 显示全部楼层


在Gate上加一个对地的电阻,一般20k到40k就可以,可以显著降低vt1。其原理是GGNMOS的CGD和电阻构成分压,esd事件发生时可以让GGNMOS短时间开启,从而更早触发寄生三极管导通。一般可以把触发电压(VT1)降低到7V~8V左右。
发表于 2021-3-23 13:26:56 | 显示全部楼层


stone1005 发表于 2020-8-18 09:26
在Gate上加一个对地的电阻,一般20k到40k就可以,可以显著降低vt1。其原理是GGNMOS的CGD和电阻构成分压, ...


谢谢,具体应该怎么计算20k~40k的电阻值才合适呢?
发表于 2021-3-23 14:05:31 | 显示全部楼层
So nice, take it.
发表于 2021-3-26 09:56:01 | 显示全部楼层


zhumingzhu 发表于 2021-3-23 13:26
谢谢,具体应该怎么计算20k~40k的电阻值才合适呢?


这个完全是经验值。实际上触发电压和你的工艺参数相关,和器件尺寸相关。还和esd事件的电压上升沿速度相关。典型值加20k就行,也有加40k的,我还见过加100k的。电阻越大,相同工艺和器件尺寸下,触发电压越低。
发表于 2022-3-4 09:59:01 | 显示全部楼层
学习了
发表于 2023-11-10 16:42:58 | 显示全部楼层
对于长沟道器件,栅氧化层的厚度约为最小沟道长度的50分之一,所以一般此时的栅氧化层耐压是高于此器件发生雪崩击穿的电压的,所以当GGNMOS的因为发生雪崩击穿的触发电压也约等于寄生NPN的触发电压,此电压一般在12V左右,低于栅氧化层耐压,器件的栅极不会击穿,大于此耐压后,寄生NPN导通,IV曲线出现折返。
当沟道长度不断减小后,栅氧化层也越来越薄,会导致栅氧化层耐压等于乃至小于GGNMOS的雪崩击穿电压,所以在深亚微米工艺中不会利用GGNMOS的雪崩击穿特性,而是利用电容耦合,在GGNMOS的栅极和漏极加一个电容,在栅极和地加一个电阻,正常情况下,栅极接地,当ESD脉冲来后,脉冲电压通过电容将GGNMOS的栅极抬高,所以NMOS开启了,提供ESD泄放通路。持续时间由时间常数RC决定,RC越大,持续时间越长。一般手模型的放电时间在几百ns内产生峰值为1.33A的电流,所以时间常数一般设为几us。
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