smic rhrpo电阻的HRP层次有什么用？

535977672 · 发表于 2015-9-30 13:32:17

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smic rhrpo电阻的HRP层次有什么用？
poly电阻为什加SP/SN？

zgf85644958 · 发表于 2015-10-8 10:47:21

应该在电阻头的位置吧，降低电阻头的阻抗

icfbicfb · 发表于 2015-10-8 14:09:20

hrp增加电阻阻值啊，比如上M的欧姆数目， hrp是一层另外的mask，会增加成本的

用于面积不想扩大又想要大电阻的情况

q_l · 发表于 2015-10-8 17:01:49

高阻层，是一个MASK层，SMIC通常提供1K和3K两个工艺，所以使用前需要明确你用哪一种啊，而且在同一个芯片上只能用一种单位阻值的器件啊。

535977672 · 发表于 2015-10-9 11:11:47

回复 3# icfbicfb

hrp电阻有GT连着的，类似poly电阻，加HRP电阻就怎么大了，他影响的是什么。

icfbicfb · 发表于 2015-10-9 13:40:59

注入层次不同吧，具体工艺不懂，反正就这个意思吧

BlackAnalog · 发表于 2020-12-16 16:04:19

学习了，谢谢

阿萨德企鹅毒 · 发表于 2020-12-23 19:58:35

高阻层，做高阻值电阻的，有的工艺下，有专门的一层mask，会进行注入，改变poly电阻性质

jeffej · 发表于 2020-12-24 12:13:35

rhrpo change doping to increase R, SP/SN for lower R at contact

阿克曼 · 发表于 2021-7-9 20:57:57

学习了

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