TSMC 16nm工艺CPO层是干嘛的

zsmic · 发表于 2015-8-19 17:13:53

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如题所示。。。

okfunny · 发表于 2015-8-19 23:19:53

回复 1# zsmic

Cut PO作用就是切断PO

motofatfat · 发表于 2015-8-21 11:23:57

Cut 有時候指 cont 或 via

zw5823035 · 发表于 2015-8-21 15:31:07

16nm很复杂的。都是double mask。 CPO可以切断PO。因为切的更整齐，可以使间距更小。16nm好像还有COD吧。把OD切断。

china8894 · 发表于 2015-8-24 15:42:49

如楼上所说，就是 Cut PO作用就是切断PO

xxmule · 发表于 2015-8-25 11:43:25

能否科普一下double mask？谢谢

回复 4# zw5823035

蜗牛0405 · 发表于 2015-8-27 21:52:18

是的，就是切断poly的

zw5823035 · 发表于 2015-8-28 10:09:14

就是PO和M1的mask有两层。光的衍射，间距太小，可能都是亮的。所以就用两个mask。

比如4根线1 2 3 4，会把13 高在mask1上，24高在mask2上。这样。只有PO和M1有。其他没有。

具体说明你搜搜。比我说的好。

china8894 · 发表于 2015-8-28 14:49:19

tsmc16的版图还是比较好画的，多注意density的问题，还有压差还有stdcell，一般没什么大问题

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