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[求助] ASMC工艺中,有一种BCD的工艺,其中metal层有选择

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发表于 2015-7-16 10:58:55 | 显示全部楼层 |阅读模式

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ASMC工艺中,有一种BCD的工艺,其中metal层有选择,2层(M1、MET)或者3层(M1、M2、MET),2层(M1与MET通过VA1相连)或者3层(M1与M2通过VA1相连,M2与MET通过VA2相连),我就是想知道,在参加MPW的时候,如果其他家用3层Metal,而只有我们家用2层的,这是怎么实现的?还是分开跑的,不是做在一块版上的?如果做在一张版上的话,是怎么做的?
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