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发表于 2007-4-16 21:58:25
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电阻的温度系数完全有可能为负!
例如:SMIC 0.18um工艺里面
Silicide N+ diffusion resistor的温度系数TC1=3.12E-3
Non-Silicide N+ Poly resistor的温度系数TC1=-1.35E-3
电阻和掺杂类型,掺杂浓度和材料有关
比如说Si和多晶硅材料肯定不同
记得以前学半导体物理的书里面有关于半导体材料
的电阻率方面的内容,电阻和载流子浓度,迁移率等参数都有关系的 ,具体怎么算还给老师了 |
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