dummy device

师大老六六 · 发表于 2015-1-21 16:01:16

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请问dummy device在什么时候加入工艺中的啊？很早就有了吗？具体是啥作用呢？

师大老六六 · 发表于 2015-1-21 21:24:39

没人吗？
我查了下，就是冗余器件，减小刻蚀时候器件参数的失配的？

zixin1hao · 发表于 2015-1-21 21:46:07

回复 1# 师大老六六

加入工艺中？ Designer在电路设计阶段，在需要匹配，或者需要防止边沿压力引起参数偏移的地方都可以加吧

师大老六六 · 发表于 2015-1-21 22:41:16

回复 3# zixin1hao 我的意思是加这个dummy是为了在工艺中刻蚀时候，减小器件中间和边缘刻蚀的不对称进而减小器件失配的，所以在design阶段就是要加的，不是这样理解的？

william_kuang · 发表于 2015-1-22 08:51:56

我只知道dummy metal

zy_gu@163.com · 发表于 2015-1-22 10:31:35

一般是在layout最后一个环节加dummy metal，这个foundry有tool提供的。

totowo · 发表于 2015-1-22 10:34:33

当然，schematic和layout都得有

回复 zixin1hao 我的意思是加这个dummy是为了在工艺中刻蚀时候，减小器件中间和边缘刻蚀的不对称进而减小器 ...
师大老六六发表于 2015-1-21 22:41

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师大老六六 · 发表于 2015-1-22 11:10:47

回复 5# william_kuang
可以说说吗？

师大老六六 · 发表于 2015-1-22 11:12:48

回复 6# zy_gu@163.com
噢，那schematics阶段呢？

师大老六六 · 发表于 2015-1-22 11:13:25

回复 7# totowo
恩！多谢指教

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