较宽的金属层次刻蚀问题

版图漫游者

某些0.6的工艺会存在这样一个版图设计规则同一层金属，如果金属宽度小于10um，那么金属之间的最小间距为0.8um
                如果金属宽度大于10um，那么金属之间的最小间距为1.5um
然而某些0.6的工艺就不会存在这样一个版图设计规则


个人认为无论金属宽度为多少，其面对的光刻条件（光刻胶厚度，曝光时间、刻蚀时间）都是一样的，金属刻蚀是刻蚀氧化层，个人认为与负载效应关系不大，因此请教各位大神，这是由于什么问题导致的？

woodhorse

金属比较软，大块金属做CMP时会不平坦。间距大一点会改善CMP。