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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › 集成电路生产/封装/工艺 › 生产/封装资料区 › 半导体工艺---thin film
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楼主: temp15555

[资料] 半导体工艺---thin film

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lisukui
发表于 2016-12-8 15:57:21 | 显示全部楼层
薄膜工艺目前是以CMP为主吗？还是CVD？
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lisukui
发表于 2016-12-8 16:05:46 | 显示全部楼层
是原版，有翻译版吗？材料有些老了，大部分讲AL的
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wallacegznu
发表于 2016-12-21 18:43:32 | 显示全部楼层
thnaks
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893038219
发表于 2018-4-21 23:07:06 | 显示全部楼层
谢谢分享 收下了
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iclife
发表于 2018-4-24 20:42:25 | 显示全部楼层
好东西，谢谢楼主给力
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oliverqueen09
发表于 2018-7-10 23:54:02 | 显示全部楼层
感谢感谢，很不错
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cxgogogo
发表于 2018-7-19 11:06:34 | 显示全部楼层
好东西。谢谢！
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wzcow888
发表于 2018-7-27 23:47:11 | 显示全部楼层
支持啦，喜欢
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XFET2018
发表于 2018-8-24 19:33:10 | 显示全部楼层
a comprehensive book on PVD. good reference
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Silvia329
发表于 2018-8-28 09:50:40 | 显示全部楼层
谢谢分享！！
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