半导体工艺---thin film

lisukui · 发表于 2016-12-8 15:57:21

薄膜工艺目前是以CMP为主吗？还是CVD？

lisukui · 发表于 2016-12-8 16:05:46

是原版，有翻译版吗？材料有些老了，大部分讲AL的

wallacegznu · 发表于 2016-12-21 18:43:32

thnaks

893038219 · 发表于 2018-4-21 23:07:06

谢谢分享收下了

iclife · 发表于 2018-4-24 20:42:25

好东西，谢谢楼主给力

oliverqueen09 · 发表于 2018-7-10 23:54:02

感谢感谢，很不错

cxgogogo · 发表于 2018-7-19 11:06:34

好东西。谢谢！

wzcow888 · 发表于 2018-7-27 23:47:11

支持啦，喜欢

XFET2018 · 发表于 2018-8-24 19:33:10

a comprehensive book on PVD. good reference

Silvia329 · 发表于 2018-8-28 09:50:40

谢谢分享！！

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[资料] 半导体工艺---thin film