LDD导致ESD性能下降

wyliuse · 发表于 2014-11-12 09:44:52

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

看到台湾柯明道教授写的，先进制程下LDD的尖端放电导致ESD性能下降，具体过程如何，大家怎么理解的？
高手们解析一下

。我的理解是，这个尖端放电应该是发生在snapback之前，如果snapback先发生了就不会毁坏，ESD性能也不下降。大家有没有碰过这样的案例？
欢迎大家来讨论一下！

sunshuanghao · 发表于 2014-11-12 10:18:58

顶一下~~~

lianaissmec · 发表于 2015-1-27 11:20:41

是的，现在的管子越来越小，由于采用了源区硅化了的工艺，电阻比较小，ESD容易通过LDD的尖端进行放电

albertyin · 发表于 2015-3-11 17:42:40

柯大侠这个资料有点久啦.
理论上有这种可能, 但目前实际芯片上不明显.

[原创] LDD导致ESD性能下降