谁知道tsmc工艺里面sh_p和sh_n层是什么？

blueolive · 发表于 2014-11-7 16:58:09

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谁知道tsmc工艺里面sh_p和sh_n层是什么，是p-epi吗？
看起来像
那sh_n又是什么？

archersqin · 发表于 2014-11-8 12:42:29

shallow p , shallow n

blueolive · 发表于 2014-11-11 10:45:16

谢谢！
我看rule，感觉
耐压 SH_P>HVPW>PW，SH_N>HVNW>NW。
不知道这个推论是否正确？
还有这个是外延生长的吗？还是注入的。

archersqin · 发表于 2014-11-11 17:25:54

不清楚

haha2233 · 发表于 2023-10-18 15:30:04

这里的sh_n和sh_n层有什么功能？

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