工艺问题求助！

yatn · 发表于 2014-4-9 10:56:13

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大家好，一般工艺都具体分数字、模拟和射频。如SMIC0.18um工艺有digital、mm和RF。我想请教一下在工艺制作、成本价格方面，这些工艺的具体差别。以SMIC0.18um为例，mm和RF比Digital多了几道工序？需要增加几层Mask？那么在full-mask流程中，每个wafer会多花费多少钱？

yatn · 发表于 2014-4-9 11:11:08

自己顶一下先

真我个性 · 发表于 2014-4-9 11:29:49

模拟的好像也是用tamc018rf库吧？

micm_nedi · 发表于 2014-5-16 11:05:22

回复 1# yatn

wafer钱和层数有关。你现在的digital一共多少层版？
再把RF多出来的版加上。。。

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