请问sizing table是做什么用的？

hawaii78 · 发表于 2013-8-6 13:58:27

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大家好，我拿到的PDK里面有一个名称为sizing table的PDF，请问哪位知道是做什么用的？
从里面的内容上面看，是mask产生的逻辑关系。
但是在sizing（um/side）一列中出现的数字是什么意思？
比如我画红色线的地方有一个0.1.它的意思是说在生成mask的时候每个方向上都增长0.1um吗？

heeda · 发表于 2013-8-6 14:04:16

长大或者缩小值，就是工艺的误差

2hen · 发表于 2013-8-8 19:55:27

对。通常如果是负数会缩相应的尺寸。正数是涨相应的尺寸。

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