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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › MEMS(微机电系统) › MEMS资料区 › MEMS总结
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楼主: switchliu

[资料] MEMS总结

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jxwgh_2001
发表于 2017-12-6 13:21:02 | 显示全部楼层
感谢分享
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rnysun
发表于 2017-12-6 22:37:55 | 显示全部楼层
thanks
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icetools
发表于 2018-1-6 15:21:19 | 显示全部楼层
回复 1# switchliu

文档涉及的内容
   

Ø 第一章  绪论

Ø 第二章 半导体制造技术

Ø 第三章 硅微加工技术

Ø 第四章 光刻技术

Ø 第五章 LIGA技术

Ø 第六章 微机械装配与集成

Ø 第七章 典型微机械系统装置

Ø 第八章 MEMS制造设备

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ibubapa
发表于 2018-1-19 11:36:27 | 显示全部楼层
回复 1# switchliu

  thanks for sharing
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east0609
发表于 2018-1-22 13:20:49 | 显示全部楼层
很不错
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yaoqing88
发表于 2018-2-13 01:05:13 | 显示全部楼层
资料不错
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yaoqing88
发表于 2018-2-23 06:25:25 | 显示全部楼层
资料不错
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antonychang
发表于 2018-3-6 10:52:55 | 显示全部楼层
感謝分享！謝謝！
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quhuaibo
发表于 2018-3-20 18:07:47 | 显示全部楼层
good information
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huan_shang
发表于 2019-4-19 21:30:49 | 显示全部楼层
多谢楼主，学习下

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