STI和NWell

jerry66666 · 发表于 2013-6-19 12:39:25

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最近看到0.25um以下的工艺几乎都是先做STI,再做NWell，难道这样STI不会局部阻挡NWell注入吗？
谢谢。

stonehenge1 · 发表于 2013-6-26 10:52:32

为什么会挡住？

if1302 · 发表于 2013-6-28 16:04:02

回复 3# stonehenge1

hhhh

lhfy · 发表于 2013-11-14 13:22:21

STI的引入会对其下方sub的浓度造成影响，需要惨杂调制，建议看一下微电子制造技术科学原理与工程技术中关于STI的详述

[讨论] STI和NWell