《微系统设计与制造》

亲爱的伽利略 · 发表于 2013-5-8 18:48:15

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我买了清华大学王喆垚编写的《微系统设计与制造》，看了一些，感觉编的挺有水平。书的内容很丰富，共有九章。如下：1 微系统概述2 微系统力学3 微系统制造技术4 微型传感器5 微型执行器6 射频微系统（RF MEMS)7 光学微系统（MOEMS)8 生物医学微系统（BioMEMS)9 微流体与芯片实验室。对于我来说，BioMEMS就不用看了。大家有兴趣的可以找来看看。关于MEMS，你们还有什么好书推荐？

书封面