《微系统设计与制造》

亲爱的伽利略 · 发表于 2013-5-8 18:48:15

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我买了清华大学王喆垚编写的《微系统设计与制造》，看了一些，感觉编的挺有水平。书的内容很丰富，共有九章。如下：1 微系统概述2 微系统力学3 微系统制造技术4 微型传感器5 微型执行器6 射频微系统（RF MEMS)7 光学微系统（MOEMS)8 生物医学微系统（BioMEMS)9 微流体与芯片实验室。对于我来说，BioMEMS就不用看了。大家有兴趣的可以找来看看。关于MEMS，你们还有什么好书推荐？

书封面

haipiao · 发表于 2013-5-27 08:51:51

haha 学这个方向的有一本宝典级的书一定要推荐 Fundamentals of Microfabrication by Marc J. Madou

haipiao · 发表于 2013-5-27 08:53:45

国内基本没有引进但是是国外大学的教材非常经典，做毕设和项目就靠他了

towishyou · 发表于 2013-7-17 21:31:03

这方面的书太少，google找的又不全，谁能上传几本？不胜感激！！！！

pqzhu88 · 发表于 2013-10-10 06:17:15

资料很有用,谢谢

kofkoy2000 · 发表于 2013-10-11 22:28:34

推荐鲍敏杭老师的书。

pqzhu88 · 发表于 2013-10-12 04:37:54

学习学习，长长见识，谢谢了

memszhang · 发表于 2013-10-14 19:22:50

我以为可以下载呢

pqzhu88 · 发表于 2013-10-25 03:49:26

我也以为可以下载呢

yaoqing88 · 发表于 2014-5-6 07:35:16

我也以为可以下载呢, 有意义吗？

[原创] 《微系统设计与制造》

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