0.18um工艺走线求助

pandafeeder · 发表于 2013-2-27 15:59:43

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各位大大，请教下，0.18um的工艺，5层Metal，把metal1和metal2的信号线，放在由metal3,4,5组成的MIM电容下布线，对信号线的影响大吗？可以这样走吗？谢谢

lavida_2010 · 发表于 2013-3-21 13:55:55

帮你顶一下

lyf7293723 · 发表于 2013-4-3 15:54:19

信号线一般不走底层金属因为与衬底很近衬底电位一般都很脏会干扰

lyf7293723 · 发表于 2013-4-3 15:57:56

第二个原因因为底层金属的电流密度没有TOP metal 的过电流能力强而且寄生电阻相对很大所以一般不建议用底层金属走信号线用顶层金属做信号线用中间层金属做屏蔽线隔开与其他信号线的交叉处

[求助] 0.18um工艺走线求助