复旦微电子工艺

lusen · 发表于 2013-2-22 09:21:28

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从晶片的生长到工艺集成，讲的非常详细，值得一看！目录：

第一章前言

第二章 晶体生长

第三章实验室净化及硅片清洗

第四章光刻

第五章热氧化

第六章热扩散

第七章离子注入

第八章薄膜淀积

第九章刻蚀

第十章后端工艺与集成

第十一章 未来趋势与挑战

Kingsam · 发表于 2013-2-25 13:29:16

只好先顶一下，藏起以后再下

adsam · 发表于 2013-2-25 16:11:48

好东西

zhangxiliubai · 发表于 2013-2-27 22:16:29

好东西

henrylxq · 发表于 2014-9-13 07:36:20

很有用

kampte · 发表于 2014-9-17 16:46:41

多谢了

ffqq · 发表于 2014-9-23 07:38:42

非常感谢慢慢看

ffqq · 发表于 2014-9-23 07:51:34

非常细致

九章伏藏gyx · 发表于 2015-2-9 21:19:37

有没有视频课程啊求个链接

gtimes · 发表于 2015-2-11 06:40:49

感谢分享，好资料！

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