在mos电容的沟道区域打via会有什么影响

yjie62 · 发表于 2012-9-7 16:09:57

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在mos电容的沟道区域打via会有什么影响，

云飘如水 · 发表于 2012-9-7 16:14:11

你是指gate上面吧？既然是做电容用的，不需要很高的匹配以及性能，所以在上面打via是没有问题的

蜗牛0405 · 发表于 2012-9-8 21:04:23

drc过不了

tayo134 · 发表于 2012-9-9 20:04:17

楼主说的是via ，不是conta，所以在多数工艺下是可以的，没有影响

HeNavy · 发表于 2012-9-10 09:10:40

栅氧很薄，如果打在沟道上很可能打穿了，会导致栅和衬底导通。使其器件永久失效！所以工艺厂都不会要求在沟道上打孔的。

dqyang · 发表于 2012-9-10 09:58:00

回复 6# HeNavy

你说的是contact吧，我们公司都经常在电容上跳线，打via会损坏管？

hujiangtao007 · 发表于 2012-9-10 10:01:13

应该不会有什么影响。

hanfeng005 · 发表于 2012-9-10 10:11:20

电容上应该影响不大

HeNavy · 发表于 2012-9-11 09:04:44

打via孔是可以的

dinggo · 发表于 2012-9-11 17:32:41

没有问题，随便整

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