问个关于沟道终止注入的问题

sudezhao · 发表于 2012-6-26 16:50:12

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这步注入到底是在什么时候做的？用的哪次光刻版？与s/d注入时形成的guardring到底有什么区别？看了很多资料，越看越糊涂了，求解释啊，谢谢！

大力射门 · 发表于 2012-7-6 10:53:25

ACTV之后吧

dinggo · 发表于 2012-7-9 16:16:56

看工艺书，现在工艺可以用扩散也可以用离子注入，所以，不好判断

浪漫的雨 · 发表于 2013-3-19 15:56:51

在active掩膜之后做硼沟道终止注入（注入到了除active以外的部分），然后用再次使用NWELL的掩膜版进行磷沟道终止注入（注入到了NWELL里面除active的部分）。guarding是做在active区域内的

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