大家看一下这个是什么意思指教一下（工艺文件）

elovu5256 · 发表于 2012-6-19 21:26:56

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后两项 Birds Beak 和Spacer Size 在图表中怎么理解啊，谢谢！

zhuyujun · 发表于 2012-6-20 13:39:18

楼主的头像经典！

elovu5256 · 发表于 2012-6-25 15:14:35

回复 2# zhuyujun
你的也很拉风啊

可是问题没有解决！

sudezhao · 发表于 2012-6-26 14:28:28

locos中的场氧到active的交接宽度和poly侧墙宽度吧

nathan_ruan · 发表于 2012-7-15 18:41:02

4楼正解
长场氧的时候鸟嘴不可避免的进入有源区侧墙主要是ldd注入尽量避免热载流子注入对管子的影响（vt）

kalahara · 发表于 2012-7-15 21:44:17

横向扩散的数据嘛

[求助] 大家看一下这个是什么意思指教一下（工艺文件）