SAB层的理解

severdesigner · 发表于 2012-6-16 14:52:58

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SAB指的是salicide block0
Salicide中文翻译过来就叫硅化物，其实是比较薄的一层金属和多晶的合金体，其主要目的是在多晶硅或者diffusion表面相对比较薄的一层上面生长出一层（或者是淀积）金属－硅的硅化物，目的是降低多晶上的电阻率。
SAB层用来阻止sailicide的生成，从而得到阻值较高的diffusion或者poly( l) {6 b% @0 A
常用在poly电阻，diffusion电阻，ESD device的 Drain端，提高其电阻和耐压。

tfangli1234 · 发表于 2012-6-16 15:47:11

学习了

le_levi · 发表于 2012-7-10 10:14:40

讲的很好，不错，学习了解了！

calear · 发表于 2012-7-11 11:32:29

学习了

xiyan3yue · 发表于 2012-8-30 09:00:40

嗯，之前一直不了解，那sab反应到工艺上是一层什么材料啊~

motofatfat · 发表于 2012-8-30 09:29:12

和雨傘類似
有傘淋不到雨
有 SAB ㄉ地方
就是沒有矽化物ㄉ地方

dushuangcun · 发表于 2013-2-1 15:28:52

菜鸟弱弱问一句：平时经常说的guardring和psub有什么区别？

motofatfat · 发表于 2013-2-2 19:07:07

菜鸟弱弱问一句：平时经常说的guardring和psub有什么区别？
中文保護圈
有 N 型和 P 型
psub 是 NMOS body
也能做成環狀當 P 型保護圈

jaja65 · 发表于 2013-2-21 02:53:57

學習了

silicon21 · 发表于 2013-2-21 09:31:09

学习了

[讨论] SAB层的理解

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