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新竹县尖石乡昨(13)日二度发生里氏规模逾4级地震,一度惊传晶圆双雄台积电、联电位于竹科园区内产线发生破片状况,据了解,影响程度尚在调查中,并未波及厂商的正常营运。
昨下午4时22分新竹发生里氏规模4.9级地震、晚间10点41分发生里氏4.4级地震,竹科厂区内也有2~4级不等震度,台积电、联电官方发言管道回应指出,并无发生破片状况,晶圆生产线尚未造成影响。
不过,晶圆厂高层指出,震度3以上的地震即可造成破片影响,其中最高机率发生在运送过程中,而设备生产过程中则依固定方式不同,12寸厂晶圆的固定方式,较8寸晶圆来得稳定。上一回苏澳地震时,晶圆有破片情形,这一次也不例外,有的炉管也出现裂痕。
竹科管理局副局长杜启祥表示,有911大地震惨痛经验,竹科厂商、尤其是半导体厂,在震度达到5级的时候,生产线机台就会自动关机,而这次的地震虽然震央在新竹县尖石乡,但新竹市和竹科仅3级左右,对于特别加强防震设施的竹科厂商并未造成太大影响。
杜启祥指出,地震发生后,竹科园区内供水、供电都正常,科管局方面也未接获厂商任何因地震造成的损害通报。
911大地震时,竹科受创最重就是半导体厂,不仅造成多家半导体制造厂生产线炉管破裂,高价机台更得花费高达数亿元进行校正。更严重的是,台湾不仅是全球晶圆代工重心,当时的DRAM市占率也有一定地位,因为911大地震造成半导体厂停工,全球半导体产业供应链也严重失衡。
有了911大地震的惨痛教训,竹科厂商在盖厂时都会加强建筑物的防震能力,尤其以晶圆厂及面板厂更为谨慎,防震度至少都做到6、7级的水平。近几年台湾偶有地震发生,一方面新竹地区的震度不高,同时也因厂商的防震措施做得好,竹科自911大地震以来,尚未因地震造成损失。 |
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