求教，电阻匹配和距离的关系

huangjw1 · 发表于 2012-5-21 22:30:54

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hi，
请教一个问题，有两个5um*5um的电阻距离100um，他们的匹配情况是怎么样的，会不会超过2%呢。
如果你相关参数的计算，能否告知，任何工艺都可，谢谢。

dada363324 · 发表于 2012-5-21 22:43:57

这个不同工艺不同fab差别比较大吧。。。
就是同一个process你电阻周围情况也会影响它匹配。。
电阻是poly电阻？这个跟光刻精度有关

LZ既然要匹配为什么还放这么远？

huangjw1 · 发表于 2012-5-22 09:06:53

主要是要做个电阻串ＤＡＣ，不想对电阻做中心对称，
而直接排列，这样一来电阻距离有点远，但面积小不少

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