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楼主: hujiangtao007

[求助] 多晶电阻上面走金属一,会对电阻值有影响吗?

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发表于 2012-4-18 21:58:47 | 显示全部楼层
大牛,你们要多来指点大家,谢谢
发表于 2012-4-20 23:02:19 | 显示全部楼层
对于精确匹配的电阻,最好还是不要走电阻线,本身的连线最好也少走,氢化作用会使电阻值有偏差。
发表于 2012-5-1 19:41:02 | 显示全部楼层
如果是注入电阻的话,特别是低注入,在上面走金属线,会影响电阻里面的载流子分布,会对电阻值产生很大的影响。但是你说的是poly电阻,这个考虑基本上师可以忽略的,但是要考虑到氢化作用对其影响。详情参考《模拟版图艺术》第五章电阻
发表于 2015-4-10 15:20:47 | 显示全部楼层
来看看。。
发表于 2015-4-10 16:56:46 | 显示全部楼层
學習了
发表于 2015-4-11 14:42:05 | 显示全部楼层
学习了~~~~
发表于 2018-12-17 00:49:50 | 显示全部楼层
学习了。。。
发表于 2018-12-25 23:59:48 | 显示全部楼层
学习了
发表于 2018-12-26 11:10:35 | 显示全部楼层
制程已经净化多少代了,这种.5 .35 的经验早就不适合先进制程了。
这两道工艺中间差了好几百道process,能有啥影响。
况且要是真的影响很大,fab 早就有研究data 了,到目前为止,哪有人研究M1 对Poly 阻值的影响
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