SOI的SUB

nidong01 · 发表于 2012-4-10 14:37:12

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请问下SOI的SUB版图需要怎么画？

terry8876 · 发表于 2012-4-10 16:24:40

SOI工艺高压器件是一个器件一个岛，那个岛就相当于一个独立的衬底，低压器件可以合到一个岛里，衬底可以不用连，因为从某种程度说，SOI工艺是没有衬底的，它下面是被二氧化硅隔离了的。

nidong01 · 发表于 2012-4-10 16:59:03

回复 2# terry8876

谢谢，我也是觉得不用单独的处理SUB，之前一直是SMIC工艺的所以确认下

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