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本帖最后由 iccastro 于 2012-2-21 09:31 编辑
美国半导体工艺课件,全!(Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology) |
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1 Introduction.pdf
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2 Introduction of IC Fabrication.pdf
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3 Semiconductor Basics.pdf
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4 Wafer Manufacturing.pdf
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5 Thermal Processes.pdf
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6 Photolithography.pdf
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7 Plasma Basics.pdf
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8 Ion Implantation.pdf
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9 Etch.pdf
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10 CVD and Dielectric Thin Film.pdf
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11 Metallization.pdf
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12 CMP.pdf
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13 Process Integration.pdf
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14 CMOS Processes.pdf
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15 Future Trends and Summary.pdf
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