请教关于endcap的作用

smilyrong · 发表于 2011-12-21 20:25:45

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请教各位大侠斑竹，
endcap的真正作用是什么？为什么所以的block都需要加endcap，TCD cell可不可以不加endcap？

wxcarson · 发表于 2011-12-22 10:02:28

回复 1# smilyrong

endcap 不是所有工艺都需要加的，一般TSMC要求，工艺在40nm一下需要加endcap。加endcap的主要目的是避免或者是缓和PSE，OSE所造成的影响，意思就是不能让poly和OD周围太空旷，不对称，密度太低。主要是从DFM上考虑的。

icfbicfb · 发表于 2011-12-23 09:55:55

对，主要是会影响器件的性能，

TCD 等cell 也可以包一圈 endcap啊，按理说所有core区域的macro 都要包一圈endcap的，

以保护其他周围区域的stdcell的性能，

lzyscut · 发表于 2013-9-16 11:11:29

回复 2# wxcarson

请教大侠，OD是什么意思呢？

wujiashangzhang · 发表于 2013-9-19 10:40:03

氧化层

kevintso · 发表于 2013-9-26 14:28:20

Oxide Diffusion(氧化擴散曾)

starrymorn · 发表于 2015-11-2 10:31:15

据说40nm及以下需要加endcap

[求助] 请教关于endcap的作用