高阻poly电阻上,覆盖metal有何作用

tianruo · 发表于 2011-11-22 10:54:15

我也觉得是屏蔽用的。防止受到电阻上方走线的影响。

ptadx · 发表于 2011-11-22 21:31:14

电阻上面有金属刻蚀的时候不是会氢化的啊？？？

tuohong · 发表于 2011-11-24 16:59:01

目前各家fab说法没有统一，UMC和CSMC给出的说法是前面提到的氢化，但不是发生在退火过程中，而是alloy合金的过程中。

z35840904 · 发表于 2011-11-25 17:30:41

学习了

srb1260 · 发表于 2011-11-26 15:06:50

GOOD！

allen_tang · 发表于 2011-11-28 18:18:20

回复 13# tuohong

能否详细讲讲氢化的工艺步骤？非常感谢

tuohong · 发表于 2011-11-29 20:11:09

回复 16# allen_tang

这个问题我解答不了，给我介绍的人讲解时涉及到器件物理里的能带和能级理论，并且强调说这个他们的推论。

cdlj85 · 发表于 2011-12-1 15:48:18

主要是屏蔽

xxxm33 · 发表于 2011-12-4 12:02:43

学习了,很重要.

dabing · 发表于 2011-12-4 13:30:55

看看<<模拟版图艺术>>这本书哈

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