电阻的宽度与工艺规则最小电阻宽度比例

wodemaomifjw · 发表于 2011-9-6 16:12:31

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要改一个电阻阵列，因为之前的电阻阵列中电阻宽度是工艺规则中电阻的最小宽度，但是在后仿真中，结果不是很好，想知道应该改到几倍的最小宽度，有经验的前辈们可否指点

hujiangtao007 · 发表于 2011-9-6 16:57:32

不好说，和工艺的具体情况有关系。

wodemaomifjw · 发表于 2011-9-6 17:14:51

回复 2# hujiangtao007

以我自己的经验来看，电阻在进行后仿真时都差不多是按20%的误差进行计算的，如果我想减小工艺误差，可以通过增加电阻的宽度，但是又不能让电阻阵列占用太大的面积，如果是1.5倍的最小电阻宽度，可以达到我的目的么？我用的是RPOLY电阻

wodemaomifjw · 发表于 2011-9-7 10:33:43

高手指点一下啊！很急的！

duchao881001 · 发表于 2011-9-7 17:11:43

常用的一半是最小的两倍吧！看需要了要求精确就宽点，没什么要求就随便

smart2010 · 发表于 2011-9-8 07:59:03

你的工艺文件中有个model Application文件，介绍了高精度电阻的W取值的！

wodemaomifjw · 发表于 2011-9-8 13:29:09

多谢指点啊！

hiky · 发表于 2012-3-22 09:17:07

一般都会有mismath report，在这里面有详细的对比。

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