求鸟嘴效应的原理解释

elovu5256 · 发表于 2011-8-31 18:17:47

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是在栅长方向还是栅宽方向的场氧形成鸟嘴？

ajuehe · 发表于 2011-8-31 20:21:19

是栅长方向形成鸟嘴

elovu5256 · 发表于 2011-9-2 11:10:52

回复 2# ajuehe

也就是说鸟嘴横跨源栅漏对吧，那在另外一个方向栅氧和场氧是连在一起的还是中间隔着硅化物呀。有没有什么资料可以参考呀谢谢高手！

Dark-Killer · 发表于 2011-9-4 21:07:05

额，鸟嘴这个东西，，现在好点的工艺都可以控制了，，设计时只要栅宽设计的比最小设计规则大2-3倍，，可以避免。。

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