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欧姆龙MEMS气体流量传感器种类丰富，实现超微流量的高精度检测。
有如下特性：
*微小流量的高精度/快速应答检测
*通过MEMS技术实现无需选择安装位置的超小型化
*多种类产品能适应微小流量至中等流量
用途如下：
1、气体流量的检测
l 燃气装置的空气比管理
l 气体能量管理
2、控制流量的监测
l 通气管道的流量监视
l 净化车间
3、过程控制
l 半导体制造装置/分析器
l 流量计测·控制
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发表于 2011-3-8 12:10:19
