对外开放扫描电镜（SEM）

typhoon1105

中国科学院微电子研究所四室扫描电镜（SEM）已正式投入使用，并对外开放，欢迎本所及外单位预约测试，请有测试需求单位提前一周预约，周一、周三为电话集中预约日，可预约下周周一至周四任何测试时段。

联系方式：汤老师，010-82995593

1.
设备简介

设备型号：HitachiS-4800 FE-SEM
产地：日本

观察样品表面及切片剖面的微观形貌及特征，可观察直径为100mm的样品(4英寸标准晶圆)及4英寸以下任何尺寸样品，具有图像记忆和追踪功能。

2．主要技术规格：

1) 电子光学系统

二次电子分辨率： 1.0nm (15kV)；2.0nm (1kV)，普通模式；1.4nm(1KV) ，减速模式

放大倍数：40倍～80万倍。

2)探测器

具有高位/低位二次电子探测器，高位探测器可选择接受二次电子像或背散射像，

SE/BSE 信号可任意比列混合。

3）样品室

可实现X,Y,Z方向移动、倾斜、旋转；倾斜角度范围：-5°～+60°；旋转：360°。

bilinzhuxiao

thank you

hitaqhhy

谢了啊。。