《MEMS 技术及其应用》

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yuansusj

发表于 2010-12-24 21:54:22 | 显示全部楼层 |阅读模式

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李德胜编著
本书共有八章，在概述微机电技术的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。作为MEMS应用，分别介绍了数种典型的物理量传感器和化学量传感器的工作原理及制造工艺，对各类微操作器、微机械零件及电系统也做了比较详细的论述，最后开辟一章介绍了生物芯片相关技术。

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MEMS, 微机电

《MEMS 技术及其应用》

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