工艺的栅氧化层电容在哪个文件里面看啊

demonsolar · 发表于 2010-12-20 16:14:51

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工艺的栅氧化层电容在哪个工艺文件里面看啊

Areky · 发表于 2010-12-20 22:35:05

有的fab会提供。有的压根就没有..
用tox的数值,然后自己计算cox=esio2/tox
或者用simulation 验证..

lindychen · 发表于 2010-12-21 15:58:28

3.9*8.85X10E(-12)/tox

demonsolar · 发表于 2010-12-22 17:44:34

谢谢了，楼上各位

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