deposition和epitaxy区别？

uestc123 · 发表于 2010-8-13 08:58:44

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最近用tsuprem4仿个器件用的外延比较厚所以尝试了一下epitaxy语句不过结果发现和用deposition的结果不同，这两个语句有什么根本性的不同么，还是在语句上epitaxy中包含了热过程而deposition中无热过程所致？求解答我也不知道发这个版合不合适如发错请斑竹帮忙移动~

daehgib · 发表于 2012-6-13 00:21:15

顶一下，求大神解答。。。


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