VLSI工艺技术:超大规模集成电路工艺技术-中文

A1985 · 发表于 2010-5-28 09:38:19

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一本旧书。
本书详细阐述了VLSI制造工艺的全过程,即从晶体生长、晶片制造直至可靠性试验的各个主要环节。着重分析各工艺的质量及其影响因素、指出各工艺的检测和工艺监控技术。论述了VLSI的工艺模拟和检测技术等方面的内害。

weisheihuozhe · 发表于 2010-6-4 22:21:58

这个东西不错的，谢谢分享

wadezhu · 发表于 2010-8-21 14:18:37

谢谢诶！！！！！

yxxjtu · 发表于 2010-9-23 19:38:58

没人顶下，太不给面子了

yxxjtu · 发表于 2010-9-23 19:40:03

俺再顶下下楼主

dada1989 · 发表于 2010-9-23 23:22:01

顶一下好东西

steve2011 · 发表于 2012-12-18 15:42:56

take a look at it

weixiaoHUST · 发表于 2013-3-12 16:20:38

pdg文件

徐忠 · 发表于 2016-12-1 13:03:23

您好，可以再提供一下吗？我下了一下，都是打不开。我的邮箱是ZhongXuECNU@163.com

qmax · 发表于 2016-12-2 09:13:09

tks tks

[原创] VLSI工艺技术:超大规模集成电路工艺技术-中文