半导体工艺教程

skymusic · 发表于 2010-3-4 20:29:34

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很好的半导体教程
1 详细介绍各个工艺（Thermal Processes，Photolithography，Plasma，Ion Implantation等）
2 介绍工艺集成
3 介绍主流工艺的
对画版图和电路设计的有很大帮助。

skymusic · 发表于 2010-3-4 20:32:44

Chapter 1, Introduction
Chapter 2 Introduction of IC Fabrication
Chapter 3 Basics Semiconductor Devices and Processing
Chapter 4 Wafer Manufacturing and Epitaxy Growing
Chapter 5 Thermal Processes
Chapter 6 Photolithography
Chapter 7 Plasma Basic
。。。
Chapter 12 Chemical Mechanical Polishing
Chapter 13 Process Integration
Chapter 14 CMOS Processes

mingli741 · 发表于 2010-3-4 22:44:05

谢谢分享

mingli741 · 发表于 2010-3-4 22:45:58

谢谢分享

apteye · 发表于 2010-3-4 23:11:06

thanks

mwq8800 · 发表于 2010-3-13 11:03:13

好东西谢谢分享

mwq8800 · 发表于 2010-3-13 11:04:18

好东西谢谢分享

jingxin_xd · 发表于 2010-4-13 01:37:52

谢谢分享！

wufuwei · 发表于 2010-6-19 13:14:38

can you tell me the author of this book?

[资料] 半导体工艺教程

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