半导体工艺教程

skymusic · 发表于 2010-3-4 20:29:34

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很好的半导体教程
1 详细介绍各个工艺（Thermal Processes，Photolithography，Plasma，Ion Implantation等）
2 介绍工艺集成
3 介绍主流工艺的
对画版图和电路设计的有很大帮助。

skymusic · 发表于 2010-3-4 20:32:44

Chapter 1, Introduction
Chapter 2 Introduction of IC Fabrication
Chapter 3 Basics Semiconductor Devices and Processing
Chapter 4 Wafer Manufacturing and Epitaxy Growing
Chapter 5 Thermal Processes
Chapter 6 Photolithography
Chapter 7 Plasma Basic
。。。
Chapter 12 Chemical Mechanical Polishing
Chapter 13 Process Integration
Chapter 14 CMOS Processes