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MEMS 3D封装技术

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发表于 2009-12-18 14:06:02 | 显示全部楼层 |阅读模式

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一些关于MEMS 3D封装的资料

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A Low-Temperature SU-8 Based Wafer-Level hermetic packaging for mems devices.pdf

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 楼主| 发表于 2009-12-18 14:10:28 | 显示全部楼层
这是非常有用的3D MEMS 封装资料
发表于 2010-4-11 08:48:50 | 显示全部楼层
thanks
发表于 2010-6-28 09:06:32 | 显示全部楼层
=重新下还要钱啊,要中文的
发表于 2010-6-28 09:13:11 | 显示全部楼层
=重新下还要钱啊,要中文的
发表于 2010-11-28 23:20:21 | 显示全部楼层
很好,不过汇总做好
发表于 2014-11-21 19:20:18 | 显示全部楼层
MEMS 3D封装技
发表于 2015-3-19 13:37:00 | 显示全部楼层
文件好多碎啊,希望以后压缩下~
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