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第一讲 课程介绍，MEMS引论
第二讲 硅的机械特性
第三讲 微尺度效应
第四讲 集成电路制造技术（一）
第五讲 集成电路制造技术（二）
第六讲 表面微加工技术（一）
第七讲 表面微加工技术（二）
第八讲 体硅加工技术（一）
第九讲 体硅加工技术（二）
第十讲 键合技术及其它微加工技术
第十一讲 微型传感器概论
第十二讲 有限元法与MEMS传感驱动器的设计
第十三讲 压阻式微型传感器
第十四讲 压电式微型传感器
第十五讲 电容式微型传感器
第十六讲 微型光学传感器
第十七讲 微型热敏传感器
第十八讲 微型磁敏传感器
第十九讲 微型磁感应器与驱动器
第二十讲 微型辐射传感器
第二十一讲 微型声学传感器
第二十二讲 生物传感器
第二十三讲 化学传感器
第二十四讲 微型驱动器（一）
第二十五讲 微型驱动器（二）
第二十六讲 压力传感器
第二十七讲 传感器与驱动器的性能指标
第二十八讲 无线传感器网络
第二十九讲 CMOS-MEMS
第三十讲 封装
第三十一讲 专题：基于MEMS技术的微型麦克风
第三十二讲 RF MEMS
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[ 本帖最后由 ofsky 于 2009-4-8 08:27 编辑 ] |
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MEMS Lecture01.pdf
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MEMS-Lecture02.pdf
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MEMS-Lecture03.pdf
1.07 MB, 下载次数: 189
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MEMS-Lecture04.pdf
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发表于 2009-4-3 17:11:53
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