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本帖最后由 eecsseudl 于 2013-4-29 10:23 编辑
老师要求了这样的一个课题,以半导体的生产过程的某一具体过程为对象,比如说CVD过程,用马里兰大学提出的一个仿真工具箱【附件1】,构造数据平台,然后用数据驱动,有4个工具箱,结合起来构造一个控制器!我一点头绪都没有,渴望各位学长能够指教,谢谢!
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马里兰大学.rar
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仿真工具箱
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