半导体集成电路制造手册

zxzljg · 发表于 2008-12-9 12:50:41

very good

zxzljg · 发表于 2008-12-9 13:09:37

谢了，

zxzljg · 发表于 2008-12-9 13:13:42

用掉了我太多积分

zxzljg · 发表于 2008-12-9 13:21:24

用掉了我N多积分，抱歉

helte320 · 发表于 2008-12-13 13:42:48

天哪,是一本好书,不过太恐怖了吧,还是收藏就好

jiayong1913 · 发表于 2008-12-13 22:31:49

好东东~~~

00FA · 发表于 2008-12-31 11:29:05

真是大部头啊，攒钱

00FA · 发表于 2008-12-31 11:31:55

到dangdang上找了个目录，这本书估计大部分设计的朋友用不上，但共享资料就是值得感谢的
~~~~~~

第一部分半导体基础介绍及基本原材料
第1章半导体芯片制造综述
第2章集成电路设计
第3章半导体制造的硅衬底
第4章铜和低κ介质及其可靠性
第5章硅化物形成基础
第6章等离子工艺控制
第7章真空技术
第8章光刻掩膜版
第二部分晶圆处理
第9章光刻
第10章离子注入和快速热退火
第11章湿法刻蚀
第12章等离子刻蚀
第13章物理气相淀积
第14章化学气相淀积
第15章外延生长
第16章 ECD基础
第17章化学机械研磨
第18章湿法清洗
第三部分后段制造
第19章目检、测量和测试
第20章背面研磨、应力消除和划片
第21章封装
第四部分纳米技术、MEMS和FPD
第22章纳米技术和纳米制造
第23章微机电系统基础
第24章平板显示技术和生产
第五部分气体和化学品
第25章特种气体和CDA系统
第26章废气处理系统
第27章 PFC的去除
第28章化学品和研磨液操作系统
第29章操控高纯液体化学品和研磨液的部件
第30章超纯水的基本原理
第六部分气体和化学品
第31章良品率管理
第32章自动物料搬运系统
第33章关键尺寸测量方法和扫描电镜
第34章六西格玛
第35章高级制程控制
第36章半导体生产厂区环境、健康和安全方面需要考虑的事项
第37章芯片制造厂的计划、设计和施工
第38章洁净室的设计和建造
第39章微振动和噪声设计
第40章洁净室环境中静电放电的控制
第41章气体分子污染
第42章半导体制造业中微粒的监测
第43章废水中和系统
附录

frankaurora · 发表于 2008-12-31 13:07:22

thanks!!!

dinq123 · 发表于 2009-1-9 18:51:59

谢谢分享！

半导体集成电路制造手册

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