Nikon光刻机对准机制和标记系统研究

semiclxue · 发表于 2011-3-27 21:19:05

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套刻精度是步进式光刻机最重要的指标之一。从应用角度探讨了Nikon 系列
光刻机的对准方法,举例说明了众多对准标记在实际掩模版上的摆放原则。清华微电子所

yxren1 · 发表于 2023-6-26 14:51:54

谢谢楼主分享

yxren1 · 发表于 2023-4-4 10:31:26

学习中

manonroad · 发表于 2023-2-26 21:42:55

谢谢楼主的资料！！！！

us2393 · 发表于 2023-1-20 23:47:12

感谢分享

robinsuper · 发表于 2022-12-29 10:28:41

Nikon光刻机对准机制和标记系统研究

w379343274 · 发表于 2022-5-31 21:43:28

好东西，谢谢楼主

落叶雨 · 发表于 2022-5-10 10:02:07

多谢多谢

yuhaimei123 · 发表于 2022-5-5 15:19:31

虽然有过不少了解，但还是可以参考参考

水仙君 · 发表于 2022-1-16 18:04:34

好资料

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[资料] Nikon光刻机对准机制和标记系统研究