HVBN隔离的衬底是什么类型的掺杂呢

西瓜慧子 · 发表于 2024-11-18 17:06:58

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已知DNW隔离的衬底是通过重掺杂n实现的，那么dnw中电位不一样的nwell需要单独掏出来隔离,那么HVBN是否类似?
得到HVBN的剖面图一张
这个剖面图里的EPI是什么类型的掺杂呢

wyg8871 · 发表于 2024-11-18 17:20:02

HVBN=NBL，EPI=psub，看结构可以这么理解，HVBN上可以存在多大不同电位的nw，但是psub只能有一个，和DNW相反。我感觉应该是不同厂家的不同叫法

小李k · 发表于 2024-11-18 18:57:06

EPI应该是被隔离出来的地p+,HVBN确实结构类似DNW，但耐压高很多，之前做smic .18 V3E用的就是这种结构

西瓜慧子 · 发表于 2024-11-19 09:50:13

wyg8871 发表于 2024-11-18 17:20
HVBN=NBL，EPI=psub，看结构可以这么理解，HVBN上可以存在多大不同电位的nw，但是psub只能有一个，和DNW相 ...

我也是按你这样理解的，但是我看做mask的时候 HVBN就是按DNW做的。所以我就在思考hvbn里的大衬底到底是什么类型的掺杂。

wyg8871 · 发表于 2024-11-19 10:27:21

本帖最后由 wyg8871 于 2024-11-19 10:40 编辑

西瓜慧子发表于 2024-11-19 09:50
我也是按你这样理解的，但是我看做mask的时候 HVBN就是按DNW做的。所以我就在思考hvbn里的大衬底到底是什 ...

希望对你有帮助，我看这个图片有的懵，想不明白为什么N型外延层和nw不导通

西瓜慧子 · 发表于 2024-11-19 11:01:10

wyg8871 发表于 2024-11-19 10:27
希望对你有帮助，我看这个图片有的懵，想不明白为什么N型外延层和nw不导通
...

谢谢图解，看这个图好像确实是n型大衬底。n管不需要掏出来隔离 p管需要单独隔离

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